產品簡介

微納光電成像測試系統是一種利用顯微成像手段，通過不同波長激光進行探測，分析表征光電子器件的短路電流分布，表面缺陷， 反射率等參數。并通過掃描獲得的圖像，分析各種參數的平面均勻性，為光電器件的結構優化提供參考。激光通由顯微鏡聚焦到樣品表面，激光激發樣品產生光電流，光電流信號通過探針引出至電流源表，再通過軟件讀出。

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