產品簡介

●非接觸式、非破壞性光學式膜厚檢測
●采用分光干涉法實現高度檢測再現性
●可進行高速的即時研磨檢測
●可穿越保護膜、觀景窗等中間層的檢測
●可對應長工作距離、且容易安裝于產線或者設備中
●體積小、省空間、設備安裝簡易
●可對應線上檢測的外部信號觸發需求
●采用最適shi合膜厚檢測的獨自解析演算法。(已取得專zhuan利)
●可自動進行膜厚分布制圖(選配項目)

光探測磁共振譜 超快瞬態吸收 拉曼光譜 熒光光譜 顯微缺陷膜厚 半導體晶圓缺陷檢測儀 高光譜測試系統 太陽能電池量子效率 太陽光模擬器IV系統 顯微光電流成像系統 探測器光響應度系統 光譜變溫附件探針臺 熒光系統 組合熒光系統 鏡頭透過率測試系統 漫反射率測試系統 反射、吸收率系統 成像亮度計 標準燈參考輻射定標 電致發光系統 常規發射光譜系統 共聚焦拉曼光譜儀